NEWクリーンプロ
ベアリング

半導体やフラットパネル
ディスプレイ(FPD)の
製造工程など、
クリーン環境での発じん、
放出ガスの発生を極限まで低減!

製品の歩留まりや品質向上に貢献
長寿命化により搭載装置のランニングコスト
低減や稼働率向上に貢献

  • 発じん性能が50%低減発じん性能が50%低減
  • 発じん寿命が10倍以上発じん寿命が10倍以上
  • 従来品よりさらに低減従来品よりさらに低減

※当社従来品比較

新しくなったNEWクリーンプロベアリング

ふっ素コーティングによる潤滑膜を、より潤滑性、耐久性に優れたものに改良

ふっ素コーティングによる潤滑膜を、より潤滑性、耐久性に優れたものに改良

ベアリングのクリーン性能を高めるためには、ベアリングが回転する際の発じんや放出ガスを低減する必要があり、潤滑油やグリースを使用せずに、潤滑性や耐摩耗性を高める必要がありました。

従来品ではベアリングにふっ素コーティングを施すことでこれを実現してきました。

今回の開発品である「NEWクリーンプロベアリング」では、このふっ素コーティングによる潤滑膜を、より潤滑性、耐久性に優れたものに改良し性能の向上を果たしました。

ふっ素高分子個体潤滑幕(全面)

潤滑性・耐久性UP

潤滑幕の特長
  • 特殊ふっ素高分子膜
  • サブミクロンの膜厚
  • 軸受全面にコーティング

NEWクリーンプロベアリングに関する
お問い合わせ

新しくなったクリーンプロベアリングに関する
ご依頼・ご相談はお客様のご相談内容に合わせて
以下からお選びください。

改良点1

回転中に発生する
発じん量を50%低減

(当社従来品比較)

新開発ふっ素コーティングによって、ベアリングの
耐久性・耐摩耗性能が大幅に改善、
従来品に比べて、発じん量を50%以下に抑える
ことに成功しました。

発じん量の低減により、
ベアリングからのパーティクルによる
製造環境の清浄度への影響を抑え、
製品の品質や生産効率に向上に繋げます。

発じん性能が50%低減
改良点2

発じん寿命(※1)
10倍以上に向上

(当社従来品比較)

新開発ふっ素コーティングの耐摩耗性能が
大幅に向上したことによって、従来品に比べて、
発じん寿命※1が大幅に改善(室温の場合)し、
ベアリングの長寿命化に成功しました。

※1 発じん寿命:発じん量がクラス10(ISOクラス4)の
レベルを超えるまでの時間

ベアリングの長寿命化は、
交換周期を延ばすことに繋がり、
メンテナンスを含む
ランニングコストの低下にも繋がります。

発じん寿命が10倍以上
改良点3

発生する放出ガス量を
従来品よりさらに低減

(当社従来品比較)

新開発ふっ素コーティングでは200℃以下の環境で
放出ガスの低減に成功しました。

放出ガスを低減させることで、
製造環境への影響を小さくし、
製品品質・生産効率の向上に繋げます。

従来品よりさらに低減

NEWクリーンプロベアリングに関する
お問い合わせ

新しくなったクリーンプロベアリングに関する
ご依頼・ご相談はお客様のご相談内容に合わせて
以下からお選びください。

開発の背景

極めて高いクリーン性能が求められる
製造環境へ向けて

一般的なベアリングでは回転する際の摩擦や潤滑油の飛散による発じん、
また、潤滑油の蒸発によるガスが発生するため、製造環境を汚染し、品質および生産性が低下します。
このため、より高い清浄度でのプロセスが必要な、半導体やフラットパネルディスプレイ(FPD)などの
製造工程においては、一般的なベアリングよりも高いクリーン性能が求められます。
これらのニーズに応え、さらに長寿命化を実現したのが、ジェイテクトのNEWクリーンプロベアリングです。

ジェイテクトの取り組み

ジェイテクトは極めて優れた低発じん特性、低放出ガス特性を有する、特殊環境EXSEV(エクゼブ)ベアリングシリーズの1つとして、「クリーンプロベアリング※2」を1998年に開発、商品化しました。本商品は、外輪・内輪・玉の部分にマルテンサイト系ステンレス鋼を使用。保持器とシールド部分にオーステナイト系ステンレス鋼を使用、それらにふっ素コーティングしたベアリングです。
潤滑油・グリースを使用しないことでクリーン性能を高め半導体をはじめとする先端デバイスの生産に貢献してまいりました。
さらに昨今の先端デバイスの進化に伴い、更に高い生産性が求められていることから、より優れたクリーン性を有し、交換周期を長くすることができる長寿命なベアリングの開発を進めています。

※2 クリーンプロ、EXSEV(エクゼブ)は当社の登録商標です。

New Cleanpro Bearing

NEWクリーンプロベアリング

●クリーン環境、真空環境

●半導体製造装置、FPD製造装置、露光装置、スパッタ装置、
その他真空機器など

これらをはじめとした、低発じん特性、低放出ガス特性を求められる環境で高品質かつ長寿命な製品としてお使いいただけます。

ポイント1
発じん量50%低減
ポイント2
寿命10倍以上
ポイント3
放出ガスさらに低減

※当社従来品比較

オーステナイト系ステンレス鋼 マルテンサイト系ステンレス鋼

NEWクリーンプロベアリングに関する
お問い合わせ

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セミコンジャパン2017に出展!
NEWクリーンプロベアリングをはじめKoyoの最新技術をご紹介
セミコンジャパン2017は終了しました。
Koyoブースへのたくさんのご来場ありがとうございました。

WORLD OF IOT
世界を代表するマイクロエレクトロニクス国際展示会
“マジックが起きる”
開催期間:2017年12月13日-15日
開催場所:東京ビッグサイト 東京都江東区有明
Koyo展示ブースは、
東ホール3521となります
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