热处理薄膜形成设备采用在高温条件下也能润滑的特种轴承。
曝光设备轴承用于强磁场,因此使用无磁性陶瓷制成。
蚀刻设备轴承在运行过程中会接触蚀刻溶液,因此采用抗腐蚀陶瓷轴承和 耐腐蚀性的不锈钢材料。
离子注入设备的真空室使用的轴承通过在真空中进行润滑,从而不会因磨损等而产生杂质。
溅涂设备的高温真空部分使用高温 Clean Pro 轴承。
CMP 设备轴承应用于磨蚀性环境,因此采用抗腐蚀陶瓷轴承和 PTFE 涂层轴承。
检测设备使用无磁性轴承,从而不影响检测结果。
晶片传送设备要求颗粒物排放少和长时间运行。因此,结合使用陶瓷轴承与薄壁 K 系列满装式滚珠类型轴承。
偏振片薄膜生产线使用酸、碱金属、染料和纯水等各种溶液。在这种腐蚀性环境中,使用 Roller Guard Pro 轴承和耐腐蚀组合陶瓷轴承。