半导体/FPD/高性能薄膜
能在特殊环境中移动机械的改良型轴承

半导体、液晶及其组件、高性能薄膜是各种先进技术的结晶,为现代日常生活所必需。这些产品的性能每天都在提升,生产这些产品的制造设备中使用的部件需要在极其严苛的环境中运行,例如无尘、高温和腐蚀性环境。"特殊环境用轴承系列陶瓷轴承 - EXSEV 轴承"利用材料、表面处理和润滑技术开发而成,能应对各种严苛环境。

产品列表
热处理薄膜形成设备用轴承

热处理薄膜形成设备采用在高温条件下也能润滑的特种轴承。

曝光设备用轴承

曝光设备轴承用于强磁场,因此使用无磁性陶瓷制成。

蚀刻设备用轴承

蚀刻设备轴承在运行过程中会接触蚀刻溶液,因此采用抗腐蚀陶瓷轴承和 耐腐蚀性的不锈钢材料。

离子注入设备轴承

离子注入设备的真空室使用的轴承通过在真空中进行润滑,从而不会因磨损等而产生杂质。

溅涂设备用轴承

溅涂设备的高温真空部分使用高温 Clean Pro 轴承。

CMP 设备用轴承

CMP 设备轴承应用于磨蚀性环境,因此采用抗腐蚀陶瓷轴承和 PTFE 涂层轴承。

检测设备用轴承

检测设备使用无磁性轴承,从而不影响检测结果。

晶片传送设备轴承

晶片传送设备要求颗粒物排放少和长时间运行。因此,结合使用陶瓷轴承与薄壁 K 系列满装式滚珠类型轴承。

LCD 偏振片薄膜生产设备用轴承

偏振片薄膜生产线使用酸、碱金属、染料和纯水等各种溶液。在这种腐蚀性环境中,使用 Roller Guard Pro 轴承和耐腐蚀组合陶瓷轴承。

相关目录,主要规格
(以下的商品目录为英文)
相关使用示例
1984 年世界首个陶瓷轴承问世
可靠,抗腐蚀,适用于各种溶液
非匀速旋转情况减少 80%!(与行星齿轮相比)
采用 光洋轴承技术的精密减速齿轮
联系我们