SEMICON JAPAN 2018
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半導体が製造される、クリーン、高温、真空、非磁性など
特殊環境下での使用に対応する軸受「EXSEV（エクゼブ）シリーズ」を中心に、半導体製造装置や制御機器など、
特殊環境下で安心してご使用いただけるジェイテクトグループの商品群ならびに技術力をご紹介いたします。
出展トピックス
TOPICS 1
超高温用グリース封入軸受
- 300℃の
高温で使用可能 - 固体潤滑よりも長時間使用可能
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- 300℃まで使用可能な超高温用グリースを封入
- 低放出ガス：300℃まで分解なし
- 長寿命：固体潤滑に比べて6倍以上
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超高温用グリース封入軸受（PDF）
TOPICS 2
【ウエハ洗浄搬送イメージ展示】
耐食軸受ラインナップ
様々な耐食軸受を使用したウエハ洗浄搬送イメージ展示により
ステンレスからセラミックスまで多種多様なジェイテクトの
耐食軸受ラインナップを紹介します
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イメージ展示内軸受
- 耐食組合せセラミック軸受
【材質】内輪・外輪：析出硬化系ステンレス鋼 - コロガードプロベアリング
【材質】内輪・外輪：高硬度高耐食ステンレス鋼 - セラミック軸受
【材質】内輪・外輪：窒化けい素 - 耐食セラミック軸受
【材質】内輪・外輪：耐食窒化けい素 - 耐食セラミック軸受（ジルコニア）
【材質】内輪・外輪：ジルコニア
- 耐食組合せセラミック軸受
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「ウエハ洗浄工程搬送イメージ展示」のご紹介ムービー
（上から水が流れ、ウエハを模したアクリル板が左右に往復します。）
パネル・PDFダウンロード
展示会情報
名称 ：SEMICON JAPAN
会期 ：2018年12月12日（水）─ 14日（金）
場所 ：東京ビッグサイト（東京国際展示場）
ブースＮｏ．：東 3ホール 3708
リンク ：http://www.semiconjapan.org/jp/attend/event-overview
出展トピックス
・超高温用グリース封入軸受
・ウエハ洗浄搬送イメージ展示