半導体・FPD・
高機能フィルム
特殊環境下で機械装置を動かす、進化したべアリング

最先端の技術の集積である半導体/液晶や、その構成部材である高機能フィルムは今や私たちの生活になくてはならない存在となっています。またこれら製品の性能は、日々向上しており、製造装置に使用される部品には真空、クリーン、高温、腐食などの非常に厳しい環境への対応が要求されています。「特殊環境ベアリングシリーズ セラミックベアリング・EXSEVベアリング」は、材料、表面処理、潤滑技術を駆使し、さまざまな厳しい環境に対応するため開発されたベアリングです。

商品一覧
熱処理成膜装置用ベアリング

熱処理成膜装置では、高温下でも潤滑可能な、特殊仕様のベアリングが採用されています。

露光装置用ベアリング

露光装置用ベアリングは強磁場の環境下で使用されるため、非磁性材料であるセラミックスを採用したベアリングが使用されています。

エッチング装置用ベアリング

エッチング装置用ベアリングは、エッチング液にさらされた状態で使用するため、腐食に強いセラミックスを採用したタイプや、耐食性に優れたステンレス材が採用されています。

イオン注入装置用ベアリング

イオン注入装置のチャンバー内では、真空中で潤滑し、摩耗等により不純物を発生させないクリーンなベアリングが採用されています。

スパッタリング装置用ベアリング

スパッタリング装置の高温・真空部には高温クリーンプロベアリングが採用されています。

CMP装置用ベアリング

CMP装置用ベアリングは、研削剤にさらされる環境で使用するため、腐食に強いセラミックスを採用したタイプのベアリングが採用されています。

検査装置用ベアリング

検査装置用ベアリングは、検査に影響を与えないよう、非磁性のベアリングが採用されています。

ウェハ搬送装置用ベアリング

ウェハ搬送装置では低発じん性や長寿命が要求されます。このような用途に、薄肉型のKシリーズ総玉形組合せセラミックベアリングが採用されています。

液晶偏光板フィルム製造装置用ベアリング

偏光板フィルム製造ラインでは、酸・アルカリ・染料・純水といった各種溶液が使われます。このような腐食環境下には、コロガードプロベアリング、耐食組合せセラミックベアリングが採用されています。

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