Product3Special Environment Bearing - 特殊環境用玉軸受

クリーン・真空・高温・腐食環境などの特殊環境で用いられたり、非磁性、絶縁、高速などの特殊性能が要求される軸受においては、
軸受鋼を材料とする一般の軸受や、油、グリースなどの潤滑剤が使用できない場合があります。
これらのご要望にお応えするのが特殊環境EXSEV(EXtreme Special EnViroment )軸受シリーズです。
標準軸受材としてステンレスを用いその他用途に合わせて耐食ステンレス、セラミック、高速度工具鋼、潤滑材として
ふっ素系高分子、二硫化モリブデンのコーティングや、樹脂、軟質金属などの固体潤滑材を用いた軸受と豊富な種類がございます。

EXSEVシリーズ
ラジアルボールベアリング
セラミックベアリング
  • クリーン
  • 非磁性
  • 真空
  • 絶縁
  • 耐食
セラミックを様々な用途に

軌道輪、玉に窒化けい素セラミックスを用いて、腐食環境に対応しています。
ふっ素系高分子を用いた固体潤滑ベアリングです。

用途:
半導体製造装置、液晶製造装置、半導体検査装置、合成繊維製造装置、製缶装置、超音波モータ
耐食組合せセラミックベアリング
  • クリーン
  • 真空
  • 絶縁
  • 耐食
塩水、薬液などの環境に

軌道輪に析出硬化系ステンレス鋼、玉に窒化けい素セラミックスを用いて、腐食環境に対応しています。ふっ素系高分子を用いた固体潤滑ベアリングです。

用途:
半導体製造装置、薬品製造装置、食品機械、洗浄装置
非磁性組合せセラミックベアリング
  • クリーン
  • 非磁性
  • 真空
  • 絶縁
ステンレスの非磁性対応

軌道輪に非磁性ステンレス鋼、玉に窒化けい素セラミックスを用いています。ふっ素系高分子を用いた固体潤滑ベアリングです。

用途:
半導体製造装置、半導体検査装置、製缶装置、超電導関連装置、溶接機
高温クリーンプロベアリング
  • クリーン
  • 真空
  • 高温
260℃クリーン、真空対応

ベアリングの転がり面に形成したふっ素高分子被膜を施した固体潤滑ベアリングです。信頼性の高いふっ素高分子被膜の適応範囲を広げました。クリーンルームなどに多くの実績があるクリーンプロベアリングの耐熱性を向上し、適応温度を260 ℃に向上しています。

用途:
半導体製造装置、液晶製造装置、搬送装置、真空機器、スパッタ装置
クリーンプロベアリング
  • クリーン
  • 真空
クリーンルーム、真空機器などに

ベアリングの全面に形成したふっ素高分子被膜を施した固体潤滑ベアリングです。ふっ素高分子被膜は、潤滑性に優れるとともに、発じん量・放出ガス量が少なく、クリーンルームでの使用に適します。

用途:
半導体製造装置、液晶製造装置、真空機器、露光装置、スパッタ装置、真空モーター
WSベアリング
  • 真空
  • 高温
耐熱350℃と耐過重性を両立

耐熱性の高い二硫化タングステンを用いた固体潤滑ベアリングです。固体潤滑ベアリングとしては耐荷重性に優れています。保持器を用いず、二硫化タングステンを含有したセパレータによって玉を等間隔に保持しています。

用途:
半導体製造装置、液晶製造装置、真空蒸着装置、PDP製造装置
※ 横軸での使用を推奨します。"
DLベアリング
  • クリーン
  • 真空
グリースの潤滑性をクリーン・真空用途に

発じん性が極めて少ないKDLグリース(ふっ素系)を適量封入しています。グリース潤滑ですので潤滑信頼性に優れています。

用途:
半導体製造装置、液晶製造装置、搬送ロボット、真空ポンプ
MGベアリング
  • 真空
  • 高温
超高温真空対応

玉に施した銀イオンプレーティングによる固体潤滑ベアリングです。放出ガスが少ないので、超高真空用途に適しています。

用途:
半導体製造装置、液晶製造装置、真空蒸着装置、医療機器、真空モーター
PNベアリング
  • 真空
  • 高温
300℃対応の優れた耐熱性

保持器に含有されている二硫化モリブデンなどによる固体潤滑ベアリングです。保持器材料には、耐熱性に優れたPEEK樹脂(ポリエーテルエーテルケトン)をベースにした樹脂を用いていますので、高温において安定した性能を発揮します。

用途:
紙パック製造装置、液晶洗浄装置
Kシリーズ
Kシリーズ総玉形組合せセラミックベアリング
  • クリーン
  • 真空
超薄肉形ベアリングのクリーン仕様

産業用ロボットに広く使用されているKシリーズ超薄肉形玉ベアリングをクリーン、真空用途に適応させたベアリングです。潤滑はKDLグリース(ふっ素系)を標準としています。

用途:
半導体製造装置、液晶製造装置
直動ベアリング
特殊環境用リニアボールベアリング
コンパクトな無限直線運動ベアリング

リニアボールベアリングは軸と転がり接触しながら、軸方向に直線運動をする高精度なベアリングです。このベアリングは外筒に玉、保持器、シールドを組み込んだコンパクトな無限直線運動ベアリングです。

特殊環境用リニアウェイ
容易に高精度な直線運動が可能

リニアウェイは、スライドユニットの中を玉が循環する構造で、スライドユニットがトラックレール上を無限直線運動するベアリングユニットです。スライドユニットおよびトラックレールを取付けボルトで固定することによって、容易に高精度な直線運動が得られます。

特殊環境用クロスローラウェイ
あらゆる方向の耐荷重性・高精度な直線運動

クロスローラウェイは、V形状の2平面を軌道面とした2本の軌道台の間に保持器付き円筒ころを組み込んだ直線運動ベアリングです。このベアリングは、円筒ころを交互に直交させて配列したもので、あらゆる方向の荷重を受け、極めて高精度で円滑な直線運動を行います。

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