（特殊環境用軸受EXSEV®軸受シリーズ） 半導体製造における生産性向上への貢献
- 商品・技術
株式会社ジェイテクト（以下ジェイテクト）は、かねてより、過酷な環境下で使用する特殊環境用軸受シリーズEXSEVを開発・生産してまいりました。この度、半導体製造設備の補修や、軸受のユニット化を展開するなど、半導体製造に関するお客様の困りごとをトータルで解決するためのご提案を進め、半導体分野において、2023年度には年間50億円の売り上げを目指します。
※EXSEV（エクゼブ）は、さまざまな環境・用途に対応するために通常とは異なる軸受材・潤滑剤を用いたベアリングのシリーズで、ジェイテクトの登録商標です
背景と概要
昨今、スマートフォンの機能向上、IoT技術やAIの進歩、そして自動運転の普及などにより、半導体の需要が急速に拡大しています。ジェイテクトでは、半導体製造装置を使用するお客様の声をダイレクトにお聞きすることで、軸受に関する困りごとを把握し、製品の販売のみにとどまらず、半導体設備の安定操業と生産性向上を実現するために、半導体製造設備の補修市場へもサービスを広げてまいります。
また、軸受を単品での販売から周辺部品を含むユニットとして取り扱うことで、メンテナンスの簡略化と周期の延長にも貢献いたします。
半導体の製造工程における軸受使用環境
真空・クリーン・高温・腐食といった過酷な環境の下で加工されます。ジェイテクトはこれらの環境に適合した特殊環境用軸受を開発、お客様のニーズにお応えすべく、ラインナップを取り揃えてまいりました。
【表1 半導体製造工程と主な軸受使用環境】
注）適応商品例①から④は以下の商品群をご参照ください
EXSEVシリーズ 主な製品ラインナップ
① EXSEV®-EX (真空・クリーン用ふっ素系グリース封入軸受およびグリース)
【EXSEV®-EX】 【EXSEV®-EX(グリース)】
半導体が製造される真空･クリーン環境では、低蒸気圧で化学的に安定しているふっ素グリースが必要とされています。ジェイテクトはパーフルオロオクタン酸(PFOA)フリーで環境負荷の小さいふっ素グリース、及びこれを封入した低発塵軸受EXSEV®-EXを提供しています。
従来品に対してさらに発塵量を低減するなど、優れた性能を有しながら環境規制にも対応したことで、半導体製造装置の環境負荷低減に広く貢献します。
【図１ 発塵量比】
参考記事：(EXSEV®シリーズ)環境規制対応真空・クリーン用ベアリング EXSEV®-EXの開発
※１当社比
② NEWクリーンプロ®-PR (真空・クリーン用特殊ふっ素固体潤滑被膜軸受)
高度なクリーン環境では、特殊ふっ素高分子膜がコーティングされたNewクリーンプロベアリングが使用されます。従来品に対して、アウトガス量は同等、発塵量は半分以下、発塵寿命※２(図２)は10倍以上と、軸受性能の大幅な向上を実現したことで、製造装置の信頼性向上、ランニングコストの低減に貢献します。
※２ 発塵寿命...一定時間内の発塵量がクラス10(ISOクラス4)のレベルを超えるまでの時間
【図２ 発塵寿命】
※ NEWクリーンプロは、株式会社ジェイテクトの登録商標です。
③ EXSEV®-XT (高温用ふっ素グリース封入軸受)
従来のグリースは使用不可と考えられていた350℃の高温環境で使用可能なグリースを採用した耐熱軸受です。300℃での軸受寿命は、従来の高温用固体潤滑軸受と比べて6倍以上(図3)を実現しました。高温での長寿命化を可能とすることにより、装置のメンテナンスコスト低減に貢献します。
【図３ 焼付き寿命比】
④ 耐食用セラミック軸受
一部の製造工程ではステンレス鋼でも対応できない、腐食性の強い環境があります。そのような環境では軌道輪や玉にセラミック材料を適用した耐食用セラミック軸受が有効です。ジェイテクトは様々なセラミック軸受をラインナップすることで、多様な腐食環境に対応し、半導体の生産性向上に貢献します。
【セラミック軸受】
【図４ セラミックスの適用範囲イメージ】
販売目標
販売目標： 50億円/年
販売先： 半導体製造装置メーカー、半導体メーカー
製造工場
四国工場（徳島）、亀山工場、ダイベア株式会社（当社グループ会社）
EXSEV®軸受シリーズその他の製品のご紹介
ジェイテクトは、軸受事業のブランド「Koyo」において、「Key of your operation」を掲げ、お客様とともに課題を解決し、嬉しさを提供するパートナーとして、様々な環境に適応する軸受を提供し、あらゆる産業に貢献してまいります。
今回の開発品を通じて貢献可能な SDGs の目標
【半導体製造工程で活躍するEXSEV®-EXベアリングのご紹介】
