（特殊環境用軸受EXSEV®軸受シリーズ）半導体製造における生産性向上への貢献

2023.01.31

　株式会社ジェイテクト（以下ジェイテクト）は、かねてより、過酷な環境下で使用する特殊環境用軸受シリーズEXSEVを開発・生産してまいりました。この度、半導体製造設備の補修や、軸受のユニット化を展開するなど、半導体製造に関するお客様の困りごとをトータルで解決するためのご提案を進め、半導体分野において、2023年度には年間50億円の売り上げを目指します。

※EXSEV（エクゼブ）は、さまざまな環境・用途に対応するために通常とは異なる軸受材・潤滑剤を用いたベアリングのシリーズで、ジェイテクトの登録商標です

背景と概要

　昨今、スマートフォンの機能向上、IoT技術やAIの進歩、そして自動運転の普及などにより、半導体の需要が急速に拡大しています。ジェイテクトでは、半導体製造装置を使用するお客様の声をダイレクトにお聞きすることで、軸受に関する困りごとを把握し、製品の販売のみにとどまらず、半導体設備の安定操業と生産性向上を実現するために、半導体製造設備の補修市場へもサービスを広げてまいります。
　また、軸受を単品での販売から周辺部品を含むユニットとして取り扱うことで、メンテナンスの簡略化と周期の延長にも貢献いたします。

半導体の製造工程における軸受使用環境

　真空・クリーン・高温・腐食といった過酷な環境の下で加工されます。ジェイテクトはこれらの環境に適合した特殊環境用軸受を開発、お客様のニーズにお応えすべく、ラインナップを取り揃えてまいりました。

【表1　半導体製造工程と主な軸受使用環境】

注）適応商品例①から④は以下の商品群をご参照ください

EXSEVシリーズ　主な製品ラインナップ

①　EXSEV®-EX　(真空・クリーン用ふっ素系グリース封入軸受およびグリース)

【EXSEV®-EX】　　　　　　　　【EXSEV®-EX】

　半導体が製造される真空･クリーン環境では、低蒸気圧で化学的に安定しているふっ素グリースが必要とされています。ジェイテクトはパーフルオロオクタン酸(PFOA)フリーで環境負荷の小さいふっ素グリース、及びこれを封入した低発塵軸受EXSEV®-EXを提供しています。
　従来品に対してさらに発塵量を低減するなど、優れた性能を有しながら環境規制にも対応したことで、半導体製造装置の環境負荷低減に広く貢献します。