クリーン環境

低発じん性が要求される、クリーン環境用のベアリング

一般的な高炭素クロム軸受鋼のベアリングは、さび止め油や、潤滑用のグリースを必要とします。
しかし、半導体製造工程や、FPD製造工程などの、高いクリーン性を求められる環境では、油やグリースの飛散など、ベアリングからの発じん（パーティクル）により、周囲を汚染してしまうため使用することができません。
このため、クリーン環境に適した軸受材料を使用し、潤滑剤も飛散しにくい発じん性低いもの、かつアウトガスが少ないものを使用する必要があります。
ジェイテクトでは、ステンレス鋼製のベアリングに、特殊コーティングや、ふっ素系グリースを封入することで発じんの低減、アウトガス性能の向上を実現しました。

クリーン環境性能データ

ごく一般的なクリーン環境では、さび止め油を必要とする高炭素クロム軸受鋼を用いた軸受は使用できませんので、ステンレス鋼製軸受を用いさび止め油を塗布せずに使用します。また潤滑剤は発じん性の低いものを選定する必要があります。使用する環境のクリーン度と温度を考慮したときのEXSEV軸受適用区分を図3-1 に示します。ここで温度・クリーン度は、それぞれの目安を示します。また軸受からの発じん量は、温度・荷重・回転速度などの条件によって異なりますので境界付近でのご使用にあたってはジェイテクトにご相談ください。

表3-1 におもなEXSEV 軸受を用いてさまざまな潤滑剤の発じん性能を比較した結果を示します。無潤滑の軸受では20 時間あたり100 万個以上の発じんが確認されます。また銀や二硫化モリブデンによる潤滑では、発じん量が1 万個以上でありいずれもクリーン環境には適しません。これに対し、ふっ素系高分子を使用した軸受は、発じん量が少なくクリーン環境に用いることができます。Newクリーンプロ®-PRコーティングやふっ素グリース潤滑の軸受も低発じんでクリーン環境に適しています。

ふっ素グリースは固体潤滑剤よりも耐荷重性、高速性に優れていますのでふっ素系油分のごく少量の飛散が許容できる用途において用いることができます。

ふっ素グリース潤滑や特殊コーティングを用いて低発じんを実現: ジェイテクトではより高いクリーン性能を実現するために、ふっ素高分子被膜により潤滑するクリーンプロシリーズを開発しました。低発じんで、アウトガス性能に優れ、様々なクリーン環境に対応します。
高温環境に対応するタイプ、より長寿命なタイプなど、用途に合わせてご提案致します。

クリーン環境対応製品

製品名		許容回転速度		使用温度（℃）	真空度（Pa）	クリーン度⁽²⁾ （クラス）	即納対応可能サイズの有無
製品名		dn値⁽¹⁾	最大（min^-1）	使用温度（℃）	真空度（Pa）	クリーン度⁽²⁾ （クラス）	即納対応可能サイズの有無
	クリーンプロ®-RZ	<10,000	1,000	～200	10^-5	10	○
	クリーンプロ®-RB	<10,000	1,000	～260	10^-5	10
	Newクリーンプロ®-PR	<10,000	1,000	～200	10^-5	10
	EXSEV®-EX	<40,000	－	～200	10^-5	100
	EXSEV®-FA	<10,000	1,000	～200	10^-5	1,000	○
	コロガードプロベアリング®-SC	<10,000	1,000	～200	10^-5	1,000
	セラミック軸受	<10,000	1,000	～200	10^-5	1,000	○
	コロガードプロベアリング®-MD	<10,000	1,000	～200	10^-5	1,000	○
	非磁性組合せセラミック軸受	<10,000	1,000	～200	10^-5	1,000