非磁性ステンレスやセラミックスを用い磁場に影響しないベアリング
超伝導関連機器や半導体製造装置、あるいは医療用検査機器などで用いられるベアリングは、強磁界中で使用される場合があります。一般的なベアリングを強磁界中で使用すると、磁場を乱したり、ベアリングの回転トルクが大きく変動することがあるため、非磁性のベアリングが必要になります。
従来、非磁性材料としては、ベリリウム銅が使用されてきましたが、環境負荷物質であるベリリウムを含んでいるため、使用を控える傾向があります。
ジェイテクトでは、非磁性ステンレス鋼を軌道輪に、セラミックスを転動体に用いた組み合わせセラミック軸受、あるいは総セラミック軸受にて従来と同等の非磁性を実現しています。
非磁性性能データ
ジェイテクトでは非磁性ステンレス鋼を軌道輪に、セラミックスを転動体に用いた組合せセラミック軸受あるいは総セラミック軸受をご提供しています。
非磁性材料について転がり疲れ強さを評価した結果を図4-1に示します。非磁性ステンレス鋼はベリリウム銅よりも優れた転がり疲れ強さを有しています。
表4-1 非磁性軸受と比透磁率
| 比透磁率 | |
|---|---|
| 非磁性組合せセラミック軸受 | 1.01以下 |
| セラミック軸受 | 1.001以下 |
| （参考）ベリリウム銅 | 1.001以下 |
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- 試験条件
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- 回転速度：1,200 min-1
- 温 度：室温
図4-1 非磁性材料の転がり疲れ強さ比較
- 強磁場環境下での真空・クリーン用途に
- 半導体製造工程などの一部強磁場環境下での工程では、非磁性と同時に低発じん、低アウトガスが求められる場合があります。
ジェイテクトでは一般のベアリングでは対応が難しい強磁場環境でも動作するベアリングを、多様なラインナップからご提案致します。
非磁性対応製品
| 製品名 | 許容回転速度 | 使用温度 （℃） |
真空度 （Pa） |
クリーン度(2) （クラス） |
即納対応 可能サイズ の有無 |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|
| dn値(1) | 最大（min-1） | ||||||
 |
コロガードプロベアリング®-SC | <10,000 | 1,000 | ～200 | 10-5 | 1,000 | |
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セラミック軸受 | <10,000 | 1,000 | ～200 | 10-5 | 1,000 | ○ |
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総玉形セラミック軸受 | <4,000 | 500 | ～800 | 10-10 | ||
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非磁性組合せセラミック軸受 | <10,000 | 1,000 | ～200 | 10-5 | 1,000 | |
（1）dn値：軸受内径（mm）×回転速度（min-1）
（2）クリーン性は使用条件や周囲の構造などにより異なる場合があります。
非磁性使用事例
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EB露光装置
- 製品名
- 非磁性組合せセラミック軸受
半導体製造のEB 露光装置用軸受は、強磁場の環境下で使用されます。
磁場に影響されない非磁性組合せセラミック軸受が採用されています。- 真空、強磁場環境に対応
使用条件 回転速度 100min-1 温度 室温 雰囲気圧力 10-5Pa 潤滑 グリース 
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磁気共鳴診断装置製
- 製品名
- セラミック軸受
磁気共鳴診断装置（MRI）に使用されるモータには、磁気に影響されないセラミック軸受が採用されています。
- 強磁場環境に対応
使用条件 回転速度 500min-1 温度 室温 潤滑 グリース 
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