特殊環境用軸受

EXSEV^®-MG

高温・超高真空対応: 銀イオンプレーティングにより
高温・高真空の低アウトガスを実現

適応環境

- クリーン環境
- 真空環境
- 腐食環境
- 高温環境
- 衛生環境
- 非磁性
- 絶縁
- 高速回転
- 耐摩耗
- 低トルク

特長・概要

イオンプレーティングした銀による固体潤滑軸受

EXSEV^®-MGは、350℃までの高温かつ、10^-10Paの超高真空に適応するベアリングです。ステンレス鋼製の玉にイオンプレーティングした銀によって潤滑する固体潤滑軸受です。

同系の高温対応軸受よりも高真空中における放出ガスが少ないため、超高真空用途に適します。
※大気中ではイオンプレーティングされた銀が酸化劣化するため、できるだけ大気との接触は避けてご使用ください。

主な用途・使用例

半導体製造装置
液晶製造装置
真空蒸着装置
医療機器
真空モータ

性能

高真空中において放出ガスが少なく10^-10Pa の超高真空に対応します。

試験条件

温度：室温、荷重：ラジアル3N・アキシアル98N
雰囲気圧力：1.3 × 10^-8Pa（1.0 × 10^-10Torr）、回転速度：140min^-1
潤滑寿命予測式

玉に銀イオンプレーティングした軸受（EXSEV^®-MG）は、次の計算式から寿命を推定できます。

寸法表

動等価ラジアル荷重

静等価ラジアル荷重

※呼び番号欄の色は次の納期区分を表します。

完成品在庫運用対象
受注生産対象

状況が変化する場合がありますので納期等は都度ご相談ください。

主要寸法 mm				呼び番号	基本定格荷重¹⁾ kN		係数	許容²⁾ ラジアル荷重	許容回転速度
d	D	B	r （最小）	呼び番号	C_r	C_0r	f₀	N	min⁻¹
4	12	4	0.2	SE604ZZSTMG3M6 YS	0.97	0.36	12.4	30	1,000
4	13	5	0.2	SE624ZZSTMG3M6 YS	1.30	0.49	12.3	40	1,000
5	14	5	0.2	SE605ZZSTMG3M6 YS	1.30	0.49	12.3	40	1,000
5	16	5	0.3	SE625-5ZZSTMG3M6 YS	1.75	0.67	12.4	55	1,000
6	17	6	0.3	SE606ZZSTMG3M6 YS	1.95	0.74	12.2	60	1,000
6	19	6	0.3	SE626ZZSTMG3M6 YS	2.60	1.05	12.3	80	1,000
7	19	6	0.3	SE607ZZSTMG3M6 YS	2.60	1.05	12.3	80	1,000
7	22	7	0.3	SE627ZZSTMG3M6 YS	3.30	1.35	12.4	100	1,000
8	22	7	0.3	SE608ZZSTMG3M6 YS	3.30	1.35	12.4	100	1,000
8	24	8	0.3	SE628ZZSTMG3M6 YS	3.35	1.40	12.8	100	1,000
9	24	7	0.3	SE609ZZSTMG3M6 YS	3.35	1.40	12.8	100	1,000
9	26	8	0.6	SE629ZZSTMG3M6 YS	4.55	1.95	12.4	135	1,000
9.525	22.225	7.142	0.5	SEEE3SZZSTMG3C4 YS	3.35	1.40	12.8	100	1,000
10	26	8	0.3	SE6000ZZSTMG3C4 YS	4.55	1.95	12.3	135	1,000
10	30	9	0.6	SE6200ZZSTMG3C4 YS	5.10	2.40	13.2	155	900
12	28	8	0.3	SE6001ZZSTMG3C4 YS	5.10	2.40	13.2	155	900
12	32	10	0.6	SE6201ZZSTMG3C4 YS	6.80	3.05	12.3	205	810
15	32	9	0.3	SE6002ZZSTMG3C4 YS	5.60	2.85	13.9	170	760
15	35	11	0.6	SE6202ZZSTMG3C4 YS	7.65	3.75	13.2	230	720
17	35	10	0.3	SE6003ZZSTMG3C4 YS	6.00	3.25	14.4	180	690
17	40	12	0.6	SE6203ZZSTMG3C4 YS	9.55	4.80	13.2	285	630
20	42	12	0.6	SE6004ZZSTMG3C4 YS	9.40	5.05	13.9	280	580
20	47	14	1	SE6204ZZSTMG3C4 YS	12.8	6.65	13.2	385	530
25	47	12	0.6	SE6005ZZSTMG3C4 YS	10.1	5.85	14.5	305	500
25	52	15	1	SE6205ZZSTMG3C4 YS	14.0	7.85	13.9	420	460
30	55	13	1	SE6006ZZSTMG3C4 YS	13.2	8.25	14.7	395	420
30	62	16	1	SE6206ZZSTMG3C4 YS	19.5	11.3	13.9	585	390
35	62	14	1	SE6007ZZSTMG3C4 YS	15.9	10.3	14.9	475	370
35	72	17	1.1	SE6207ZZSTMG3C4 YS	25.7	15.4	13.9	770	330
40	68	15	1	SE6008ZZSTMG3C4 YS	16.7	11.5	15.2	500	330
40	80	18	1.1	SE6208ZZSTMG3C4 YS	29.1	17.8	14.0	875	300

注1）基本定格荷重は、一般軸受の値です。（潤滑寿命の計算に用います。）
2）軸受に負荷できる荷重は許容ラジアル荷重を目安としてください。
アキシアル荷重を負荷する場合は、動等価ラジアル荷重に換算してご確認ください。
[備考] 表以外のサイズもありますのでジェイテクトにご相談ください。
お見積りの際にはアプリケーション、使用条件などをお伺いする場合がございます。特殊環境用シリーズ　仕様調査書のダウンロード

※呼び番号欄の色は次の納期区分を表します。